主要特征:

先进的全铝技术，横梁与Z轴采用表面硬质阳极化航空铝合金，温度一致性极佳；
  并降低了运动部件的质量和测量机在高速运行时的惯性，保证高速高精度
三轴导轨均采用高精度自洁式空气轴承，运动更平稳，导轨永不受磨损
三轴均采用高精度欧洲进口光栅尺，系统分辨率可达0.078um；
  同时采用一端固定，一端自由伸缩的方式安装，减少了光栅尺的变形，保证在温度变化时的线性伸缩
X向采用精密60°三角梁专利技术，相比矩形横梁，重心更低，质量刚性比，运动更加可靠
Y轴采用整体燕尾式导轨，在降低机器重量的同时，有效消除了运动扭摆，保证了测量精度和稳定性
Z向采取获得专利的气动平衡技术，采用柔性悬挂系统，避免了轴向运动和传动系统之间的干涉问题，
  提高了测量机的精度和长期稳定性
各运动轴均采用直流伺服驱动+增强型同步带，确保运动的平稳和准确定位